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微纳加工技术

微纳加工技术

腾景科技现已建立衍射光学设计、全息光刻、激光直写、干法刻蚀、纳米压印、镀膜、精密切割和测试等全方位的技术能力。

 

复杂DOE的设计能力

全息光刻:孔径40X10mm、光栅周期0.1-3000 线对/mm

激光直写:DOE制作

干法刻蚀:介质和金属

纳米压印:光栅、波导、偏振片

支持多种材质:各种介质氧化物,硅,熔石英,或聚合物

用途:单色分束,光谱仪器,色散补偿,CGH球差补偿,

以及高能激光合束等

 

•体布拉格光栅(VBG) :  已有现成产品批量发货

-激光锁模,窄带滤波
-高功率合束
-脉冲整形

•WSS 光栅:可送样

•Diffuser/DOE:可送样