半导体设备应用

在半导体设备领域，腾景科技实现了精密棱镜模组的批量生产及紫外激光匀化器小批量生产；基于客户的定制化需求，将光学元件装配、集成为可实现特定光学性能的光学模组，主要应用于半导体设备光学系统。

精密光学系统是半导体设备的重要组成，覆盖半导体制造全流程，对于制造工艺以及良率控制有重大影响，为半导体设备的核心零部件系统。我国正加速半导体设备国产替代进程，相关领域技术、产品的研究开发及量产将为精密光学市场带来更多的业务发展机会。